ターボブレイトン冷凍機搭載
半導体製造プロセスエッチング⽤チラーを共同開発
業界初、⾃然冷媒で-70℃を達成

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株式会社前川製作所（本社：東京都江東区、代表取締役 社⻑執⾏役員：前川 真、以下当社）は、この度、伸和コントロールズ株式会社（以下、伸和コントロールズ）殿と共同で、地球にやさしく、かつ世界最⾼レベルの冷却能⼒（-70℃／9kW）を兼ね備える、新たなチラーの開発に成功いたしました。
これにより、今後当社では、かねてよりお客様から要望を頂いておりました「超低温に対応した、⼩型⾃然冷媒ブラインクーラーユニットの商品化」ニーズに応えると共に、新たに半導体製造装置⽤チラー分野へと参⼊し、業界のカーボンニュートラル化への対応と⽣産ラインの効率化への貢献を進めて参ります。

※東京ビッグサイトで開催されるHVAC&R JAPAN 2024の前川製作所ブースにて「精密温度制御超低温自然冷媒チラー」として実機展示（参考出展）いたします。